太阳能光伏扩散炉

太阳能光伏扩散炉
型号:-
品牌:福润德
原产地:中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰太阳能扩散炉 , 太阳能光伏扩散炉 , 扩散炉
单价: -
最少订量:1 件

产品描述

太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
◆工作温度:300~1300℃ 
◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制 
◆恒温度:1080mm(可根据用户要求定制) 
◆温区精度(静态闭管测试): 
600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃ 
300℃≤工作温度≤600℃:±1℃ 
◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 
600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h 
300℃≤工作温度≤600℃:±1℃/24h 
◆温度斜变能力: 
可控升温速度(300~1300℃):15℃/min 
降温速度(1300~900℃):5℃/min 
◆气体流量设定精度:±2%FS 
◆气路气密性:1×10-7PA.m3/s 
◆自动送料装置行程:~2000mm 
速度:5~1000mm/min 
SiC浆承重 19kg 
◆装片数量 400片/管 
◆净化台洁净度 100级(10000级厂房) 
◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz; 
◆冷却水:2~4Kgf/cm2,~8L/min 

 

太阳能光伏扩散炉 1

会员信息

青岛福润德微电子设备有限公司
国家/地区︰山东省青岛市
经营性质︰生产商
联系电话︰15314229122
联系人︰岳晓茜 (经理)
最后上线︰2024/08/27