型号: | - |
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品牌: | 福润德 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 太阳能扩散炉 , 太阳能光伏扩散炉 , 扩散炉 |
单价: |
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最少订量: | 1 件 |
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
◆工作温度:300~1300℃
◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制
◆恒温度:1080mm(可根据用户要求定制)
◆温区精度(静态闭管测试):
600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃
300℃≤工作温度≤600℃:±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试):
600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h
300℃≤工作温度≤600℃:±1℃/24h
◆温度斜变能力:
可控升温速度(300~1300℃):15℃/min
降温速度(1300~900℃):5℃/min
◆气体流量设定精度:±2%FS
◆气路气密性:1×10-7PA.m3/s
◆自动送料装置行程:~2000mm
速度:5~1000mm/min
SiC浆承重 19kg
◆装片数量 400片/管
◆净化台洁净度 100级(10000级厂房)
◆三相五线制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷却水:2~4Kgf/cm2,~8L/min
青岛福润德微电子设备有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 15314229122 |
联系人︰ | 岳晓茜 (经理) |
最后上线︰ | 2024/08/27 |