氧化扩散炉性能特点：
◆具有可编程的升、降温功能
◆采用滤波器、屏蔽板等装置，有效解决电网、磁场的干扰
◆windows xp全中文视窗操作系统，可储存1000条曲线，每条曲线设置30步
◆自动运行中可暂停／继续运行功能
◆智能升降温斜率控制功能
◆PlD参数自整定功能，可存储多组PlD参数供系统运行调用功能
◆系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
◆具有停电后断点继续运行功能
◆工艺方式：干法氧化、湿法氧化、水汽氧化