主要参数：    

• 工作温度范围： 600-1280 度。

• 使用温度：1200 度。 

• 每炉可处理 25 片。标准晶圆舟 25 片。

• 炉管有效口径：满足 6 寸片，可向下兼容 4、2 寸。 

• 升温功率：18KVA/每管 。

• 电源：三相五线制： 380V 三相五线。

• 具有断偶、超温报警以及二次保护功能。