型号: | CL |
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品牌: | 晨立 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 扩散炉 , 氧化炉 , 钝化炉 |
单价: |
¥220000
/ 件
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最少订量: | 1 件 |
1. 外型形式:单管立式,加热
2. 硅片尺寸:156*156方片/准方片
3. 工作温度范围:400-1200℃
4. 恒温区长度:≥300mm,单次可装载10片156*156方形硅片,背靠背装片模式,配石英舟
5. 恒温区精度:±0.5℃/300mm
6. 气路系统:三路气体系统,采用进口MKS质量流量计、气动阀、等进口部件
7. 温度控制系统:PLC+触摸屏可编程控制方式,自动加手动可方便切换,温控系统采用进口温控仪,温度、流按工艺自动调节
8. 扩散方式:设备配置真空系统,支持负压扩散方式
9 尾气处理:设备配备尾气处理系统,采用溶液吸收发吸收尾气中的有害成分
10.冷却系统:设备配有冷水系统,用于保护密封装置及冷却加热器外壳
11. 报警及保护:超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护
青岛晨立电子有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13869885308 |
联系人︰ | 姜经理 (市场部) |
最后上线︰ | 2024/12/21 |