晶圆高真空退火设备

晶圆高真空退火设备
型号:CL
品牌:晨立
原产地:中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰退火炉 , 晶圆退火设备 , 真空炉
单价: ¥360000 / 件
最少订量:1 件

产品描述

晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸:4-8英寸晶圆

晶圆舟:标准25片

控温精度:±3℃

升温速率:10℃/min

洁净等级:百级洁净

真空度:5*10-4 Pa

使用温度:200-550度

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会员信息

青岛晨立电子有限公司
国家/地区︰山东省青岛市
经营性质︰生产商
联系电话︰13869885308
联系人︰姜经理 (市场部)
最后上线︰2025/01/18