半导体材料清洗机

型号：	CGB
品牌：	CGB华林嘉业
原产地：	中国
类别：	工业设备 / 通用机械 / 清洗、清理设备
标签︰	炉管清洗机 , 硅片清洗机 , 石英管清洗
单价：	¥200000 / 台
最少订量：	1 台

发送查询

产品描述

锗片清洗机半导体材料清洗机
1 用于锗片的清洗，也可以用于其他晶片的清洗腐蚀；
2工艺说明:手动方式实现放件，取件，槽体间传送件。

3 设备形式: 室内放置型。

4 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；

5 工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；

6 机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。

7药液供给及补液方式:分体式CDS自动供液系统

8 DI槽配有在线式水质检测装置；

9配有分体式废液回收系统；

半导体器件设备-硅片显影定影设备

全自动显影机型号：CGB-XXXX—XX系列，品牌：华林嘉业—CGB 1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。 2．整台设备材料均为进口。 3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。 4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。 5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。 6．工作区洁净度：100级。 7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询