全自动硅棒（芯）清洗机

设备形式: 室内放置型。

控制模式:  手动控制模式   自动控制模式。

适用于硅芯横梁及基座料腐蚀清洗干燥：

硅芯:(2000—2500) mm x(∮7-10) mm圆形硅芯；  横梁:(300-500)mm x(∮7-10) mm；基座料：(250-350)mm x(∮40-50) mm；

硅棒:(2000—2500) mm x(∮120-150) mm圆形硅棒
产能：硅芯24条（11KG）/篮/批   硅棒1条（100KG）/篮/批；

工艺流程：设备走向统一采用‘前进后出’方式;操作时由操作人员上料工位准备区人工上料→经腐蚀+喷淋快排→溢流→超声→切水干燥等工艺处理合格后经操作人员下料工位准备区人工下料;
机械手单独急停开关、系统急停开关和机械手电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全。

机台总体结构暂定为机械运行机构装置与机台上方，可拆卸及便于维修与保养。

外形尺寸、生产能力等根据客户具体要求确定。

半导体器件设备-硅片边缘腐蚀机