型号: | - |
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品牌: | HL |
原产地: | 中国 |
类别: | 冶金矿产、能源 / 新能源 / 太阳能设备 |
标签︰ | 清洗机 , 片盒清洗机 |
单价: |
-
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最少订量: | - |
片盒清洗机—半导体器件清洗设备
1. 主要指标:
1.全自动形式。
2.外形尺寸3100×1400×2500(长×宽×高)
3.适用硅片:4寸(可根据客户要求待定)
4.装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)
5.工作区洁净度:100级
6.槽间工艺转换时间:Tmax≤3.5s
2. 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。
2 .清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。
3. 关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道、全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。
4. 工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用。
5. 除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成,适用连续批量生产。
6. 人机界面为触摸屏,方便直观; 界面中有故障报警,安全保护,工艺时序号等功能。
7.工作区设净化装置,内置高效过滤器,满足工作区净化要求(1000—100级,10级为特制)。
北京华林伟业电镀器材有限公司 | |
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国家/地区︰ | 北京市北京市辖区 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13321111995 |
联系人︰ | 李兴平 (销售主管) |
最后上线︰ | 2010/01/06 |