太阳能电池片扩散炉

产品描述

产品应用：太阳能电池片生产线上125mm×125mm、156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用

产品特点：

◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制

◆闭管式扩散系统，有效降低生产成本，更洁净，更环保
◆石英舟采用软着陆送片，高可靠性

◆工艺有毒害尾气定向收集、集中处理排放，更加安环保。
◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能

◆控温精度好，温区控温稳定性好

◆关键件全部采用进口件，系统可靠性高，抗干扰性能强

主要技术指标：

1. 适用硅片尺寸：125mm×125mm 、156×156mm

2. 装片量：300-400片/管

3. 工艺管数量：1~4管（可选择）

4. 工作温度范围：400～1300℃

5. 恒温区长度：1100mm(可根据客户要求定做)

6. 恒温区精度：±1℃（600~1100℃）

7. 单点温度稳定性：≤ ±1℃/24h（600~1100℃）

8. 最大可控升温速度（300～1300℃）15℃/min;

9. 最大可控降温速度（1300～900℃）5℃/min

10、净化台洁净度：100级