原理

在待测高效过滤器的上游端发PAO气溶胶作为尘源，待气溶胶混合均匀后，用气溶胶光度计进行检测，当上游浓度值稳定后，把该浓度值设定为100%基准值。上游浓度值设定后，不要再调整PAO气溶胶浓度。用光度计在高效过滤器下游进行扫描，检测气溶胶浓度，此时的浓度是下游浓度与设定的上游浓度的比值，此比值就是高效过滤器该点的泄露率。

发尘、测试上游浓度

将气溶胶发生器通电加热，使温度升到400℃以上。使用惰性气源连接气溶胶发生器，开启气源阀门调节气体压力在0.02MPa-0.06Mpa之间。待上游气溶胶浓度稳定后，设置此浓度为100%基准浓度。

上风侧气溶胶浓度宜达到20-80μg/l，浓度低于20μg/l会降低检漏灵敏度，高于80μg/l长时间检测会造成过滤器污染堵塞。（《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010）

The concentration of the aerosol challenge upstream of the filter should be between 10 mg/m3 and 100mg/m3. A concentration lower than 20 mg/m3 can reduce the sensitivity of leak detection. A concentration greater than 80 mg/m3 can give rise to excessive filter fouling over an extended test period.（《Cleanrooms and associated controlled environments-Part 3:Metrology and test methods》ISO14644-3）

用光度计的采样头对整个高效过滤器的工作面（包括过滤器介质、过滤器边框、过滤器边框与静压箱之间、静压箱本身）进行扫描。扫描时，采样头离过滤器距离小于5cm，速度小于5cm/s之间。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。

标准

光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0.01%，即当采样探头对准被测过滤器出风面某一点，静止检测时，如测得透过率高于0.01%，即认为该点为漏点。（《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010）

Designated leaks are defined as causing a reading greater than 10-4(0.01%) of the upstream challenge aerosol concentration.（《Cleanrooms and associated controlled environments-Part 3:Metrology and test methods》ISO14644-3）

过滤器修补、更换及重新检测

如果发现任何部位的泄露率超过标准，可以采用玻璃胶对漏点进行堵漏。单个泄漏点的堵漏面积不能超过过滤器总面积的1%，全部堵漏面积不能超过过滤器总面积的5%。如果堵漏仍无法修补过滤器，必须对过滤器进行更换。

任何形式的补漏以及更换过滤器后，都必须对过滤器进行重新检测，直到全部满足标准要求。