产品介绍：

  主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，可处理2-8英寸硅片的扩散工作。
产品特性：
◆满足2"-8"立式、卧式晶圆扩散炉"    
◆保温材料：英国摩根进口保温层
◆绝缘材料：高精度99瓷拉条绝缘子
◆使用温度：350℃—1300℃
◆外  壳：不锈钢板/铝板
◆端  口：优质氧化铝氧化锆
◆控温段：3-5段控温
◆ 口  径：Φ80mm—Φ450mm
◆恒温区：100-1300mm
按客户的炉型要求，可内衬高纯刚玉管或SiC管