型号: | share |
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品牌: | share |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 青岛扩散炉 , 扩散炉 , 炉体 |
单价: |
¥650000
/ 台
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最少订量: | 1 台 |
产品特点:
◆主机为水平一至三管炉系统构架,独立完成不同的工艺或相同工艺
◆仪表控制系统,对炉温、气体流量、闸门等动作进行自动控制
◆关键部件均采用进口,确保设备的高可靠性
◆控温精度高,温区控温稳定性好;
◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能
◆高质量的加热炉体,确保恒温区的高稳定性及长寿命
扩散炉主要技术指标
1、工艺说明
1.1氧化:干氧工艺,湿氧工艺(去离子水)
1.2扩散:硼扩、磷扩(液态源、固态源等)
1.3合金、退火等工艺
2、系统组成:主机(加热体、石英/SiC管、功率组件等)、净化工作台、气路气源系统(气源柜)、仪表控系统等组成
3、控制方式:手动送片/自动送片
4、扩散炉配置(可选):
4.1仪表控制/触摸屏控制
4.2工艺管(水平结构):1-3管
4.3工艺规格:2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片(工艺腔体为石英或碳化硅)
4.4恒温区长度:1100mm/800mm/600mm/450mm
4.5晶圆装载:悬臂式,刚玉/碳化硅杆,碳化硅桨
4.6工作台:有净化/无净化
5、扩散炉主要技术参数:
5.1工作温度:200~1300℃
5.2加热体控制点:3/5点
5.3炉体恒温区:450mm/600mm/800mm/1100mm
5.4恒温区精度:>800℃/±0.5℃ ,<800℃/±1℃
5.5单点温度稳定性:600~1300℃/ ±0.5℃/24h
5.6最大可控升温速度:15℃/min
5.7最大降温速度:5℃/min(900~1300℃)
5.8供电:三相四线,380VAC/50HZ
青岛赛尔微电子有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 18866268611 |
联系人︰ | 时宝斌 (经理) |
最后上线︰ | 2019/09/11 |