6寸中端探针台

产品描述

点:	适用对象：适用于6英寸以内的各种半导体器件的高精度测试。
	台面为特有的C型设计，使台体物稳定性增强。
	大旋钮控制，手感舒适

类型	规格
整体参数规格:	重量：约60kg（带显微镜）。
	尺寸：
	设计：人性化的机学设计，便于操作工程师长时间舒适操作。
平台规格:	C型设计，可以放置6-8个探针座。
平台规格:	平整度：5μm ，使探针座的吸附更为稳固牢靠。
Chuck（载物台）规格:	尺寸：直径为6英寸的圆盘（约150MM）。
	材质：SU316L不锈钢升级空间：镀金。
	吸附孔：中心孔径最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为6"X6"。
	旋转角度：可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮。
	Chuck升降：可以快速升降4MM，并且附带旋钮细微调节功能。
	X-Y移动行程：移动范围为6"X6"，移动精度为5μm，配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。