P12高端探针台

产品描述

特点:

此款适用于12英寸以内的各种半导体器件的高精度测试。

类型	规格
整体参数规格:	重量：约120kg（带显微镜）。
	可加装探针卡
	设计：人性化的机学设计，便于操作工程师长时间舒适操作。
平台规格:	C型设计，可以放置8-12个探针座。
	平整度：5μm，使探针座的吸附更为稳固牢靠。
	平台可以电动升降25毫米,升降精度1um，采用PLIC软件控制平台升降。
Chuck(载物台)规格:	尺寸：直径为12英寸的圆盘（约200MM）。
	材质：SU316L不锈钢升级空间：镀金。
	吸附孔：中心孔径1000μm，最小可以吸住尺寸为1mmX1mm的DIE ，最大能够吸住尺寸为12"X12" 的wafer。
	旋转角度可以360度旋转,带有细微调节机构，精度0.1度,带有锁死功能。
	Chuck升降：可以快速升降4MM，并且附带旋钮细微调节功能。
	载物台X-Y方向移动控制方式：电机控制，移动行程： 12"-12"，步进精度：0.1μm，往返精度：0.5um，PLIC软件控制x-y移动。
显微镜控制:	在探针台本体的功能设计上增加了显微镜的气动升降，使在测试过程中更换物镜和样品更为方便，避免了会有碰伤样品和镜头的问题。