产品描述
一、快速退火炉简介
JFHK系列 快速退火炉 又名: 快速烧结炉、快速升降温炉、快速炉、RTP快速退火炉、RTP退火炉, 仿造国外进口设备,采用大功率红外线辐射方式,配合腔体内镀金反射层,使单片硅片快速升温。降温时红外线灯管停止工作,大流量压缩空气(或冷却氮气)迅速带走腔体内热量,实现快速降温。
二、快速退火炉主要技术指标
1、外型形式:台式,单片硅片
2、硅片尺寸:156*156方片
4、最高工作温度:1000 ℃
5、单点温度稳定性、重复性:±0.5 ℃
6、温度均匀性:±1℃(900℃以上)
7、升温速率:0 - 100 ℃/S 可调
8、降温速率:0 - 100 ℃/S 可调
9、恒温时间:0 - 600 S
10、加热功率:18根(每根1.5KW)红外线灯管,总功率27KW
11、铝合金炉膛:铝合金水冷镀金炉膛,导热性能好,有效提高降温速率
12、石英炉膛:石英炉膛为可拆卸结构,当炉膛内被烟雾污染,导致升温速率降低时,可将石英炉膛拆下清洗
北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求定制各种: 非标高温炉、管式炉、快速烧结炉、快速退火炉、快速升降温炉、快速升温炉、快速降温炉、真空烧结炉、焊接炉、IGBT焊接炉、真空焊接炉、实验室焊接炉、真空炉、烤盘炉、真空烤盘炉、CVD烤盘炉、MOCVD烤盘炉、扩散炉、退火炉、合金炉、交换炉、升华炉、氧化炉、气氛炉、氢气炉、CVD炉、隧道炉及工业炉专用炉体 等各种工业、实验室用热处理设备。
会员信息
北京晶伏华控电子设备有限公司 |
国家/地区︰ | 北京市昌平区 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 18310083901 |
联系人︰ | 刘经理 (销售) |
最后上线︰ | 2024/01/10 |