产品介绍:

金属四探头电阻率方阻测试仪(HS-MPRT4）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率（电压表）的同时，另一块数字表（电流表以千分之二的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，在探头压触样品后再接通恒流源可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护薄膜。仪器配置了本公司的专利产品：“小游移四探针头”，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。手。