一、公司基本情況
安徽易芯半導體有限公司成立于2016年9月,坐落于合肥新站高新區,主要從事大尺寸半導體硅晶體與硅片、全自動硅晶體生長爐的研發、生產、銷售以及技術服務;是中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、合肥市半導體行業協會會員單位。
公司自主研發的12英吋及以上硅晶體生長爐屬於大陸首台套產品、全自動晶體生長控制系統的核心技術與工藝均填補了國內空白,達到國際先進水平,並掌握了12英吋芯片級單晶硅片的產業化經驗。
公司項目總投資(一二期)17億元。目前,公司一期項目上線的8條12英吋單晶硅生產線,已經陸續投產。年產12英吋電子級單晶硅棒150噸(成品)。
二、技術與產品研發
公司現有30人組成的科研團隊,其中核心技術骨幹8人,核心技術成員人均在半導體芯片材料領域從業近20年,大部分來自于原上海有色金屬研究院下屬的軍工國企——上海硅材料廠。技術帶頭人馬四海曾擔任世界第二大超重摻晶體和世界第六大半導體硅材料公司技術總工。
2008年正式啟動12英呎電子級單晶硅材料的研發,2015年12英呎硅片(拋光前)產品通過國家有色金屬及電子材料分析測試中心的檢測,檢測結果顯示:電阻率均勻性、氧含量、碳含量、徑向電阻率變化等指標均達到國際標準。
研發曆程圖
目前,中國大陸能夠全方位掌握12英吋電子級硅晶體生長爐(設備)、晶體生長控制系統(軟件)和12英吋硅晶體生長技術(工藝)等全套技術工藝的僅本公司一家。技術成果已經申請國家專利19項,成果形成的產品有4項:
(1)12-16英吋電子級單晶硅棒;
(2)12-16英吋電子級硅晶體生長爐(是國外同類產品價格的七分之一);
(3)全自動硅晶體生長控制系統;
(4)12英吋電子級硅拋光片(需等到二期上線)。
值得重點突出彙報的是:目前,我們已經拿到國內某12英吋晶圓廠(19nm製程)所需3個規格硅片的參數,通過內部實驗測試對比,有2個規格的硅片參數完全滿足,另有1個規格的硅片尚有兩個參數需要進一步送樣到國外檢測。如果這兩個參數檢測通過,意味着我們的12英吋硅片將滿足19nm晶圓製程的需要(滿足韓國三星、美國格羅方德等主流芯片工藝的需求)。
三、項目建設與發展規劃
一期:8條12英吋單晶硅生產線,已經投產,生產規模已經成為中國大陸最大的12英吋電子級單晶硅棒生產基地;
二期:年產60萬片的12英吋電子