上海茂竺(上海茂索)以高端技術產品和技術服務相輔並進的快速發展模式。為半導體、醫藥及生物芯片等行業提供廠務所必需的潔淨材料部件(隔膜閥、EP(BA)管道等)以及特殊氣體設備[例如特氣櫃(GAS CABINET) 、閥門箱(VMB)],化學品供應系統(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。採用自動軌道焊接技術(即自動焊接 Automatic Weld)
上海茂竺(上海茂索)信奉以客戶為中心的服務理念,提供設備安裝及二次配管等一系列高純系統的整體解決方案,具體內容覆蓋了從方案設計到安裝、測試等方面。茂竺電子通過控制項目的重複設計和建設,達到花費項目資金和週期的最小化。
我們主要服務于以下各行業:
高亮度發光二極管外延HB-LED: 主要工藝設備 MOCVD 光刻機等
有機發光二極管OLED: PECVD, 濺射台,蒸發台OLED台,OTFT台,
太陽能電池:主要工藝設備 PECVD,SPUTTER等
硅外延:外延爐
微機電系統MEMS:主要工藝設備RIE,LPCVD,ICP,等離子清洗機,濺射機等
醫藥及生物芯片:
平面及等離子顯示器:
化工:
其他材料薄膜製造設備:APCVD,LPCVD,MBE,HVPE等。
特氣設備及潔淨部件(特氣鋼瓶櫃、閥門箱)主要用於控制高純特殊氣體,又稱電子特氣,包括氫氣H2、氮氣N2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、Freon氟利昂氣體、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。同時,提供危險氣體的洩漏探測器(探測系統)及一般氣體的濃度偵測等服務。採用自動軌道焊接技術(即自動焊接 Automatic Weld)。