擴展電阻測試儀
型號：進口
擴展電阻法是利用特殊的點接觸金屬探針，沿着樣品的表面 ，以微小的步進測出半導體材料或器件表面的每一點的擴展電阻值，由此得到電阻、電阻率和載流子濃度（摻雜雜質濃度）及其分布的一種測量技術。
本儀器適用於檢測P型和N型硅單晶微電阻率均勻性，檢測擴散層的微區電阻率變化也可用於硼磷擴散工藝的監控，同時該儀器還可以測量銻化銦、砷化鎵濃度的相對變化量 。

■ 硅晶體電阻率微觀均勻性的測量
■ 硅晶體中氧濃度及其分布的測量
■ 硅晶體離子注入層的測量
■ 硅外延層厚度和載流子濃度的測試
■ 硅pn結和器件結構的測試
■ 硅晶體中雜質擴散特性的測試
■ 硅晶體離子注入層的測量