設備名稱：磷硅玻璃清洗機

    用途:本設備主要用於對硅片去磷硅玻璃的清洗乾燥處理，清洗、乾燥在同一台設備上完成。

規格尺寸：長 6000mm，寬 1600mm，高 2500mm

主要材質：殼體：德國進口NPP板

           槽體:10mm PVDF板

          活動門:透明PVC

產品特點：1.此清洗裝置主要由通過式清洗主體、移載機械手、抽風系統、電控系統等部分組成。設備走向統一採用“左進右出”方式。工件由作業員左邊人工上料，經清洗后，經作業員右邊人工出料。

           2.此設備腐蝕清洗乾燥裝置主要由水平通過式腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分/乾燥部分等),移動機械傳送裝置,抽風系統,電控及操作台等部分組成。

   備註：1.本機配有兩個機械臂;機械臂採用平穩控制方式,提籃不會晃動;機械臂的定位精度高;

         2.每次只能鉤取二個承載器,挂鉤與機械手採用螺紋連接,方便調整;提升總量不大於30KG;