英福康IC6膜厚控制儀
產品簡介：
inficon IC6膜厚控制儀在IC5可靠成熟的性能基礎上，增添了更多獨特的功能，可幫助您實現沉積過程的最大價值。IC6膜厚控制儀使用我們ModeLock 頻率測量系統，提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 A/s，是行業中的佼佼者。IC6具有其他石英晶體控... 產品詳細 IC6膜厚控制儀 的詳細介紹

IC6 膜厚控制儀將INFICON 薄膜控制儀驗証的性能與獨特的特性結合提供超常的價值, 全部設計為您的鍍膜過程取得最好的效果. IC6 膜厚控制儀採用我們的 ModeLock 頻率測量系統確保最好的穩定性, 最高的分辨率和膜厚測量精度, 具有工業領先的速率辨 .00433 A/秒, 每 1/10 秒. 光學過程, 如反射膜, 帶通濾光器,和增透膜得益于它的高分辨率和可靠性, 以及容納每個過程 200 個膜層, 50 個過程的能力. 無其它石英晶體控制器有 IC6 這樣的性能, 質量和特色, 以及優異的可重複性。

IC6膜厚控制儀可靠的過程控制

有全面的特性清單, 可容易地將 IC6 集成于您的系統實現完全的過程控制. 對於速率和膜厚控制, IC6 有同時控制多至 6 個蒸發源的能力. 對於源控制或速率和膜厚記錄, IC6 可指定多至 12個模擬輸出.儀器的邏輯和過程控制能力包括 100 個可編程的邏輯語句, 20個計數器和 20 個定時器. I/O 功能提供多至 24 個繼電器輸出,28個 TTL 輸入, 和 14 個 TTL 輸出. 邏輯語句可用於與外輸入或輸出協同; 允許 IC6 執行 PLC 或其它額外設備的功能. 每個邏輯語句可包括多至 5 個可用 Boolean (布爾) 邏輯鏈接的功能。
為過程配方的靈活性, IC6 可容納 50 個過程, 每個過程 200個膜層. 可將過程鏈接在一起達到最大 10,000 個膜層.Auto Z 顯著地為多材料和多膜層提高膜厚測量的精確度.儀器的 Auto Z 功能可自動確定 Z-比值, 保持膜厚和速率精度,和免除用戶估值聲阻的需要. 當不同材料沉積在同一晶體上, 在兩種或三種材料共鍍膜, 或當材料的Z-比值未知時, 這是尤其重要的。

IC6膜厚控制儀功能概覽

INFICON ModeLock 技術確保獲得最高、最穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下

Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值，提高厚度測量的精度

一個 IC6 即可同時、單獨或以任何組合方式控制最多 6 個來源，無需使用兩個或三個控制器

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況

10 Hz 測量

100ms 樣本速率下頻率範圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄

多個源厚度合計功能

測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積最多 30 秒）

速率顯示分辨率可達 0.001/s

4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜

無沉積控制允許持續控制源，因為基片可以通過沉積室不斷循環

6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用於來源控制、速率或厚度監控

可選以太網通信

符合 RoHS 標準

IC6膜厚控制儀在保留了IC5的所有技術特點之外，增加了如下幾點新功能：

1）TFT-LCD顯示屏替代IC5的CRT顯像管
2）USB數據採集接口取代IC5的軟盤驅動
3）測量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ
4）厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃