QMG700分析型質譜儀
產品簡介：
QMG700分析型質譜儀，卓越的檢測極限具有超強的穩定性和精確分辨率。產品詳細 QMG700分析型質譜儀 的詳細介紹

在半導體製造技術的快速進步，依靠迅速而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或實驗室中，選擇INFICON QMG 700分析質譜儀，通過檢測壁壘，推動你的進程，以​​創新的一個新的水平。該QMG700提供無與倫比的性能和適應性模塊化設計。提升您的競爭優勢與QMG700 ，實現測量能力的高水準。

從廣氾的離子源，質量過濾器和RF電源選項中進行選擇，來定製您的QMG 700到特定的應用程序。該QMG 700擁有超過九十年的動態範圍和ppb的檢測限，使其成為超高真空測量的理想儀器。 QMG 700提供單元的分辨率在其整個質量範圍內，而對於低質量甚至更高的分辨率。該儀器是一個極好的選擇了最具挑戰性的測量，包括同位素分析，如氦和氘的分離。與QMG 700控制過程，並依靠其卓越的長期穩定，保護關鍵測量。

四十餘年分析質譜卓越的INFICON確保QMG 700是您下一次氣體分析投資的正確選擇。為了獲得一致的準確度和精確的結果，你可以依靠INFICON QMG 700和我們的全球應用經驗。

規格類型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
Mass Range 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
Sensor Length 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
Rod Diameter 8 mm 16 mm 8 mm
Rod Material Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
Flange DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
Detector Type Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
Max. Operating Pressure (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
Max. Operating Pressure (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
Sensitivity 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
Minimum Detectable Partial Pressure 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
Resolution (adjustable) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
Partial Pressure Ratio < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
Max. Operating Temp. Sensor 150 °C 150 °C 150 °C
Max. Bakeout Temp. 400 °C 400 °C 400 °C
Max. Operating Temp. Electronics 40 °C 40 °C 40 °C
Measurement Speed 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
Power Supply 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 is available for mass ranges: 1-512 amu, 1-1024 amu, 1-2048 amu.

QMA 400 specifications based upon 512 amu mass range, cross beam ion source system configuration



(2) QMA 410 is available for mass ranges: 1-16 amu, 1-128 amu, 1-340 amu.

QMA 410 specifications based upon 128 amu mass range, cross beam ion source system configuration