前載式雙探頭 SPS -540-G1+ 750-707-G1
產品簡介：
INFICON前載式雙探頭提供驗証的可靠性和持久性，與市場上任何探頭探頭相比，具有最好的熱穩定性。雙探頭提供備份晶體，在真空室內需要第二個晶體的關鍵過程中是至關重要的。 產品詳細 前載式雙探頭 的詳細介紹

對於從側面插入無足夠空間的應用，前載式結構易於插入晶體架。採用機械裝配代替焊接，必要時可現場方便地更換部件。探頭可單個訂購或訂購探頭/法蘭組合，可選焊接的或直口接頭裝配的結構。

探頭配置
前載式雙探頭的標準配置中水管與晶片平行。當第一晶體監測沉積速率時，氣動晶體擋板保護備份晶體。擋板是下拉式結構,
便於更換晶體。為有效地消除RF干擾，暴露的晶體電極是全部接地的。

法蘭
INFICON 提供兩種法蘭，1" 螺紋法蘭或 2¾" (CF40) ConFlat® 法蘭。 按用戶要求可提供 KF40 法蘭。

法蘭連接
前載式雙探頭可訂購與法蘭的組合。探頭/ 法蘭連接可採用直口接頭或焊接 ( 當與 1" 螺紋法蘭組合時) 。如需焊接連接，必須在訂購前填寫INFICON 提供的一個探頭長度規格表。直口接頭易調整，無釬焊或焊接的要求。法蘭可沿着管長移動，對於 "E" 長度探頭, 在真空系統內的長度可在 20.3 釐米至 71.1 釐米 (8"- 28") 的範圍內調整，對於 "G" 長度探頭，一旦確定所需長度，直口接頭可用手指擰緊管密封件。

優 點

■ 雙晶體
■ 晶體擋板
■ 前載式晶體支架
■ 易安裝
■ 可提供:
- 2.54 釐米 (1 " ) 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■ 如訂購直口接頭的, 可調節長度
■ 如訂購直口接頭的, 無需釬焊或焊接至法蘭
■ 可按客戶要求提供特定長度焊接的探頭 / 法蘭組合.