型號: | frd-911 |
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品牌: | 福潤德 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | 太陽能光伏擴散爐 , 太陽能光伏設備 , 太陽能擴散爐 |
單價: |
¥75000
/ 台
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最少訂量: | 1 台 |
太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。
◆工作溫度:300~1300℃
◆有效口徑根據用戶擴散片確定,可訂製
◆恆溫區長度:1080mm(可根據用戶要求定製)
◆溫區精度(靜態閉管測試):
600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃
◆單點溫度穩定性(靜態閉管測試):
600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃/24h
◆溫度斜變能力:
最大可控升溫速度(300~1300℃):15℃/min
最大降溫速度(1300~900℃):5℃/min
◆氣體流量設定精度:±2%FS
◆氣路系統氣密性:1×10-7PA.m3/s
◆自動送料裝置行程:~2000mm
速度:5~1000mm/min
SiC漿承重19kg
◆裝片數量400片/管
◆淨化台潔淨度100級(10000級廠房)
◆三相五線制380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷卻水:2~4Kgf/cm2,~8L/min
青島福潤德微電子設備有限公司 | |
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國家/地區︰ | 山东省青岛市 |
經營性質︰ | 生產商 |
聯繫電話︰ | 13658669338 |
聯繫人︰ | 顏廷福 (銷售經理) |
最後上線︰ | 2017/09/15 |