信息描述：

1.設計溫度：1200℃

2.爐膛材質：優質氣煉石英管

3.恆溫區：根據客戶要求（恆溫區內溫差±1℃）

4.控制溫區點數：石英管外3個測溫點，採用3支鉑銠熱電偶；石英管內1個固定測溫點，採用K型熱電偶；石英管內1個可移動測溫點，K型熱電偶，用於測量溫度分布及校準。

5.加熱元件：優質電阻絲

6.最大加熱功率根據工藝要求而定

   7.氣路配件材料卡套密封；兩路氣體採用質量流量計控制,方便設定氣體流量。

8. 極限真空預抽真空 ：一級機械泵2X—4（1.0Pa  10min）

9. 外形參考尺寸可定

10. 控溫精度：±1℃。

11. 電源：三相五線制，AC380V 50Hz。

12. 溫控表：日本島電，25段可編程序。

13. 控制方式：過零觸發。

   14. 真彩觸摸屏+PLC程序控制

   15. 氣路系統氣密性：1×10-7 Pa·M3/S

   16. 最大升溫速率：15℃/Min

   17. 質量流量計精度等級：0.2%FS—0.5%FS：

   18. 質量流量計測量範圍：依據客戶工藝選擇

   19. 每台流量計前各有一個過濾閥

20. 每條管路各配有一個單向閥來杜絕氣體的倒流。

   21. 工作腔體壓力通過數字真空計直觀顯示。

   22. 工藝氣體在進入工作腔體前經過混氣包來實現工藝氣體按比例混合

    23.  所有氣路管件包括閥門均採用耐腐蝕不鏽鋼（可耐H2S氣體高溫工作環境）