vecco wyko 光學輪廓儀 bruker 3d 輪廓儀 粗糙度儀 納米級 華南

實現更快，更簡便測量

自動光學傾斜測量頭

全自動X,Y, Z樣品台

自動光鏡轉塔，放大鏡，和測試光選擇

更靈活而穩定的防震

集成式充氣式防震台

高穩定度，空間節省

更強大的測量和分析

 

簡單明瞭，人性化的工作流程

實時自動優化測量

完整的數據分析軟件包

可定製的分析報告  

 

 

 

測量高效

布魯克獨有的傾斜測量頭為用戶提供了極大的靈活性，實現快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結合頭部傾斜功能，布魯克這一技術實現了將觀察位置始終保持在焦平面處，為用戶實際使用時帶來了很大便利。

  

準確追蹤和使用的簡便性對於在不同表面上快速檢測是至關重要的，這樣在批量測試時速度也大大提高。

  

這一特點結合樣品台與物鏡的電動控制使得三維光學顯微鏡Contour GT-I 成為了具有較小佔地卻能同時滿足多種測試要求的測量平台。
                     

業界最方便靈活的測量方式

除上述優點外，三維光學顯微鏡ContourGT-I通過獨有的設計直接在機臺上集成防震系統，使其直接滿足各種環境條件，包括工廠，實現迅速準確地測量。

這一經過嚴格測試的防震系統為用戶提供不折不扣的優化測試條件，從而得到重複性極佳的定量數據。

三維光學顯微鏡ContourGT-I為用戶在科研或生產環境下提供各類測試要求，保証優異，可計量的可靠測試結果。

  

最大掃描量程	可達10mm
垂直分辨率	<0.01nm
RMS 重複性 (PSI)	0.01nm
臺階高度準確性	0.75%
臺階高度重複性	<0.1% 1 sigma repeatability**
最大掃描速度標準相機	73 μm/sec
樣品反射率	0.05%-100%
最大坡度–光滑面	可達40°
最大坡度–粗糙面	Upto87°
XY樣品台	150mm(6in.) 自動
Z調焦範圍和樣品高度	100mm(4in.)automated,(6in.)
頭部傾斜	±5°自動
光學測量模塊	雙LED（專利）照明,單筒物鏡或轉塔，單個放大鏡或自動轉動放大鏡
物鏡	同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x
	長工作距離:1x,1.5x,2x,10x
	TTM:2x,5x,10x,20x
	明場:5x,10x,20x,50x
放大鏡	0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x
相機	標配:640x480
	高清(可選):1280x960
	彩色(可選):640x480
軟件系統	基於Windows 7 64位操作系統的Vision64 分析軟件
可選軟件包	生產模式; Annular 分析; 分辨率提升模式高速自動對焦; 光學分析包; 高級成像模式; 厚膜測試模式; MatLab; PSS（圖案化藍寶石襯底）測試模式
校準	可溯源的臺階高度標準樣
佔地	450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H)
最大可測樣品重量	十公斤
系統總重	六十公斤
保修期	12 個月

在8um及以上的臺階高度標樣上測得.

VSI模式下對10μm臺階測試重複性指標. 平均標準偏差<10nm.