擴散爐爐體加熱器

擴散爐爐體加熱器主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），採用國外先進的加工工藝，選用進口材料，製作而成。可用於2-8英吋硅片的擴散工藝。

■擴散爐爐體加熱器材料:

★   爐絲：Φ6～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。

★   絕緣子:採用99瓷製作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。

★   保溫棉: 採用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。

★   外殼: 304不鏽鋼板卷制而成,連接處採用不鏽鋼拉鉚釘連接。

★   熱偶座：進口彈簧卡狀固定座。

★   把口環：陶瓷纖維把口環，既保溫，又有一定機械強度。

■擴散爐爐體加熱器參數:

★   工作溫度：   ≤1300℃

★    恆溫區長度： 500mm-1000mm

★    爐體內徑：   Φ90～Φ360 mm（3～12英吋）

★    使用壽命：   規範使用壽命可達18個月以上（1200℃）

★    替代進口：   全方位配套

★    根據客戶要求，加工定製各種擴散爐爐體、氧化爐爐體、LPCVD設備爐體、PECVD設備爐體、真空爐爐體及各種異型爐體加熱器。