爐體

一、爐體材料:
★   爐絲：Φ8～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。
★   絕緣子:採用99瓷製作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。
★   保溫棉: 採用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。
★    外殼: 304不鏽鋼板卷制而成,連接處採用不鏽鋼拉鉚釘連接。
★    熱偶座：進口彈簧卡狀固定座。
★    把口環：陶瓷纖維把口環，既保溫，又有一定機械強度。 
二、爐體參數:
★     工作溫度：   ≤1300℃
★      恆溫區長度： 500mm-1000mm
★    爐體內徑：   Φ90～Φ360 mm（3～12英吋）
★   規範使用：   壽命可達20個月以上（1200℃）
★   替代進口：   全方位配套
三、應用：
       青島晨立電子有限公司生產的擴散爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、THERMCO，荷蘭ASM，英國BTU等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），採用國外先進的加工工藝，選用進口材料，可應用於處理3～12英吋硅片的擴散爐、太陽能電池片擴散爐.