供應福潤德太陽能光伏擴散爐

型號：	frd-03
品牌：	福潤德
原產地：	中國
類別：	工業設備 / 電子電氣產品製造設備
標籤︰	擴散爐 , 太陽能擴散爐
單價：	-
最少訂量：	1 台

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產品描述

HTML代碼︰	太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。 ◆溫區精度(靜態閉管測試):600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃:±1℃ ◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h ◆气体流量设定精度:±2%FS ◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s ◆自动送料装置行程:~2000mm

HTML代碼︰

太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。

◆溫區精度(靜態閉管測試):600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃:±1℃

◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 600℃<工作温度<1200℃:±0.5℃/24h

◆气体流量设定精度:±2%FS

◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s
◆自动送料装置行程:~2000mm