太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有代閉管擴散爐和第三代軟着陸擴散爐。
◆工作溫度：300~1300℃ 
◆有效口徑根據用戶擴散片確定，可訂製 
◆恆溫度：1080mm（可根據用戶要求定製） 
◆溫區精度（靜態閉管測試）： 
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃ 
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃ 
◆單點溫度穩定性（靜態閉管測試）： 
600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h 
300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h 
◆溫度斜變能力： 
可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min 
降溫速度（1300～900℃）：5℃/min 
◆氣體流量設定精度：±2％FS 
◆氣路氣密性：1×10-7PA.m3/s 
◆自動送料裝置行程：~2000mm 
速度：5~1000mm/min 
SiC漿承重 19kg 
◆裝片數量 400片/管 
◆淨化台潔淨度 100級（10000級廠房） 
◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz； 
◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min