3、轉動速度:0-12,000rpm,
4、旋塗加速度:0-30000rpm/sec(空載);
5、馬達旋塗轉速:穩定性能誤差 < ±1%;
6、轉速調節精度:<0.2rpm,重複性< 0.2rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、高精度數碼控制器:PLC控制,設置點精度小於0.006%。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
11、分辨率:分辨率小於0.5轉/分,可重複性小於±0.5轉/分,美國國家標準技術研究院(NIST)認証過的,並且無需再校準!]
12、配套真空泵系統:無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、原裝進口水平測試儀;
一、產品概述:
勻膠機WS-650Mz-23NPPB適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,製版的表面塗覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保証半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650S 型勻膠機的特點。
二、勻膠機工作原理:
勻膠機WS-650Mz-23NPPB(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上,甩膠機常用於各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜製作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同,也和旋轉速度及時間有關。三、勻膠機WS-650Mz-23NPPB主要性能指標:
1、腔體尺寸:9.5英吋 (241 毫米);
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2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小於10mm提供3mm的轉接托盤);
3、轉動速度:0-12,000rpm,
4、旋塗加速度:0-30000rpm/sec(空載);
5、馬達旋塗轉速:穩定性能誤差 < ±1%;
6、轉速調節精度:<0.2rpm,重複性< 0.2rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、高精度數碼控制器:PLC控制,設置點精度小於0.006%。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
11、分辨率:分辨率小於0.5轉/分,可重複性小於±0.5轉/分,美國國家標準技術研究院(NIST)認証過的,並且無需再校準!]
12、配套真空泵系統:無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、原裝進口水平測試儀;
一、產品概述:
勻膠機WS-650Mz-23NPPB適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,製版的表面塗覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保証半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是650S 型勻膠機的特點。
二、勻膠機工作原理:
勻膠機WS-650Mz-23NPPB(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上,甩膠機常用於各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜製作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同,也和旋轉速度及時間有關。三、勻膠機WS-650Mz-23NPPB主要性能指標:
1、腔體尺寸:9.5英吋 (241 毫米);
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2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小於10mm提供3mm的轉接托盤);
3、轉動速度:0-12,000rpm,
4、旋塗加速度:0-30000rpm/sec(空載);
5、馬達旋塗轉速:穩定性能誤差 < ±1%;
6、轉速調節精度:<0.2rpm,重複性< 0.2rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、高精度數碼控制器:PLC控制,設置點精度小於0.006%。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
11、分辨率:分辨率小於0.5轉/分,可重複性小於±0.5轉/分,美國國家標準技術研究院(NIST)認証過的,並且無需再校準!]
12、配套真空泵系統:無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、原裝進口水平測試儀;
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