紫外臭氧清洗工作原理：

清洗設備的核心是低壓石英汞燈，產生254和185nm範圍的紫外線。臭氧和等離子氧氣產生，有機污染物分子在吸收254nm波長紫外線后被激發或分解。激發的有機污染物可以和等離子氧原子反應形成氣體，比如CO2,H2O等。整個過程在室溫**發生，並且只需要1到幾分鐘完成。

*注1：白色氧化鋁暴露在UV能量下會變黃。這種現象是由於基材吸收UV能量， 而不是一種塗層。這種氧化鋁在加熱情況下會轉化為他原來的顏色。

**注2：清洗元件溫度的上升取決清洗過程的時間長度。在大多數應用，元件溫度可以視為室溫。

UV紫外臭氧清洗的特點:

· 超潔淨表面

· 室溫操作

· 快速－大多數應用10分鐘內可完成

· 運行簡單

· 超低採購成本和zui小運行成本

· 10×10 英吋（25.4×25.4cm）

· 220伏

T10X10紫外臭氧清洗機是一款臺式的紫外臭氧清洗設備。通過紫外線（185nm和254nm）和臭氧清洗基材表面，能夠簡單，經濟，快速獲得超潔淨表面。能去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁*等）上的有機污染物。特別是當基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時，紫外清洗非常理想。獲得超潔淨的表面，只需要在傳統清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘。

 T10X10紫外臭氧清洗機的屬性：