機台特點:
包括：明場，暗場，DIC襯度，偏光和落射熒光。最多可以在物鏡轉換器上安裝五個物鏡。特別適用於在高倍率物鏡時對產品觀察測量。
   型號及產品參數
     1290（測量範圍：X軸1200mm,Y軸900mm）
     1000（測量範圍：X軸1000mm,Y軸1000mm）
     9060（測量範圍：X軸900mm,Y軸600mm）
     5040（測量範圍：X軸500mm,Y軸400mm）  
  Z軸測量範圍：150mm，
   顯示器分辨率：0.001um\0.0005um\0.0001um可選配
  應用於：半導體封裝，焊接貼片，環路高度，FPD面板（LCM），MEMS,晶片級CPS,硬盤滑行磁頭。
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