高精度全自動影像量測系統 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072
◎ 載物台行程： 150X150×150/300×200×150/650×550×150/1000×800×150/1200×7200× 150mm 可供選擇。
◎ Z 軸高精度量測：使用雷射；重現性 0.5μm
◎ 點、線、弧、圓、橢圓、 pitch 量測及特殊形狀量測模式
◎ 五階段放大倍率 18X-270X或36X-540X或72X-1080X
◎ 2.5× 及 5× 輔助鏡解析至 680×~1,375×

【光源】
（ a ） 底部表面光源
（ b ） TFI-30 ，斜角度之光源 37度 75度
（ c ） Laser TTL 高倍輔助鏡光源
（ d ） TTL 透過透鏡之光纖光源
另可提供彩色屏幕，看實際產品顏色及打印 scan laser 掃描物體輪廓，利用Best Fit求最小公差
程序 copy 功能：位移、角度及影像 copy 方式
可量測 XZ 、 YZ 平面上之弧、角度及輪廓
取點：當工件異位可自動搜索，偵測正確位置
軟件提供聯機作報告表格及統計分析