環氧乙烷滅菌器滅菌程序需包括預熱、預濕、抽真空、通入氣化環氧乙烷達到預定濃度、維持滅菌時間、清除滅菌櫃內環氧乙烷氣體、解析以去除滅菌物品內環氧乙烷的殘留。

目前醫療器械廣氾採用環氧乙烷來滅菌。環氧乙烷是一種廣譜滅菌劑，具有芳香的醚味，在4°C時候相對密度為0.884，沸點為10.8°C，其密度為1.52g/cm3。

適用範圍：環氧乙烷不損害滅菌的物品且穿透力很強，故多數不宜用一般方法滅菌的物品均可用環氧乙烷消毒和滅菌。例如，電子儀器、光學儀器、醫療器械、皮毛、棉、化纖、塑料制品、內鏡、透析器和一次性使用的診療用品等。環氧乙烷是目前最主要的低溫滅菌方法之一。