敝司代理Kohzu的芯片檢測機，可以進行非接觸式平坦度檢查，擁有SEMI規格對應、Wafer自重修正補償、工作台表面不平修正補償等各種方式來保証檢測準確性。有多種規格可供客戶選擇，也可按照客戶要求給客戶設計製作專用夾具，在設備導入前也可由客戶提供樣品進行測試。