主要規格

Cv值0.3

孔口尺寸3.5mm

最大工作壓力（G.）20.6MPa

最高工作溫度-20℃ ~ 70℃

內漏裕量

試驗壓力≤ 1×10-2托

保持時間≥ 30秒1x10-10Pa·m3/s

外漏裕量

試驗壓力≤ 1×10-2托

保持時間≥ 1分鐘1x1010Pa·m3/s

顆粒檢驗（僅EP）

壓力：60~80psi氮氣

樣品體積：1CFM

0.1㎛ 更大的不算

內部

表面

粗糙度Ry≤ 3㎛

10μ英吋Ra（平均值）

截止長度：0.8mm

測量長度：4mm