隨着近些年來半導體行業的飛速發展，對於微細加工技術的要求也越來越高。微電子生產設備，光學儀器等高靈敏度設備，針對其工作環境（如振動，噪聲，電磁以及溫濕度），尤其是振動條件提出了更苛刻的要求。針對此類振動幅值小，精度要求高，工作頻率低的使用環境特征，常規的通用數據採集設備無法滿足其測量評估要求。

微振動測試模擬

針對微振動測試模擬需求，瑞鴻科技提供完整的微振動測試與模擬的交鑰匙解決方案，已有多家客戶正在使用。

1. 微振動模擬發生器
2. 微振動配套環境實時
3. 可以模擬0.1mg正弦掃頻
4. 測試可以達到ug級微振動測試

整個系統建立在隔振環境好的實驗室內，由低噪聲的微振動控制器、低噪聲微振動試驗系統、低噪聲的傳感器以及電腦組成。微振動發生試驗系統包括低噪聲低失真的功率放大器、微振動發生器和冷卻系統以相關的輔助設施實現。

為了整個系統的性能要求，採取了微振動採集儀低噪聲的設計和生產，同時選用低噪聲的微振動拾取器，配合低噪聲算法軟件，實現微振動的測試，整個系統達到0.01mg的測試精度。

優勢

1. 整個系統低噪聲，動態響應好，失真度低，低噪聲
2. 公司整個針對微振動系統工程經驗豐富，技術成熟
3. 上海可以本地技術支持
4. 有成熟案例

主要技術參數和指標

1. 主要頻率範圍5Hz～100Hz。
2. 振動加速度範圍1mg～0.05g(可視實際環境工況而定)
3. 控制精度mg級
4. 振動方式：正弦、隨機、衝擊
5. 負載重量：大於200kg

系統組成（非標定製）

微振動發生系統：包含低噪聲低失真功率放大器、微振動發生器和冷卻系統。功率放大器採用風冷，為低噪聲低失真的輸出功率為15KVA。放大器採用新技術的MOSFET功率晶體管，數字脈衝模式工作方式。不對稱輸入，具有高功效的大的帶寬,針對於微振動試驗的特殊要求，專門對攻放進行低噪聲的優化設計，使攻放的信噪比優于80dB，失真度小於0.7%，針對於微振動的低勵磁模式控制。微振動發生器裝有自動氣囊載荷補償裝置，在大負荷下能實現振幅。針對微振動微笑振動控制的優化設計，使微振動發生器及時在微小振動情況下也能做到高響應精度發生，微振動發生器和放大器之間的連接電纜長5米。

微振動控制系統：振動控制設備的插件包括標準的數字信號處理面板，模擬-數字和數字-模擬轉換軟件，處理所有振動和衝擊控制模式的標準軟件。針對微振動專門優化硬件和軟件，實現低噪聲設計控制。

微振動採集分析系統：為了整個系統的性能要求，採取了微振動採集儀低噪聲的設計和生產，同時選用低噪聲的微振動拾取器，配合低噪聲算法軟件，實現微振動的測試，整個系統達到0.01mg的測試精度。

加速度傳感器與附件（選件）：針對微振動試驗要求，選用低噪聲的傳感器，以及放大器來實現微振動的試驗。