- **工作室尺寸**：直徑2,700毫米
- **低真空泵**：油旋片泵（可選：干泵），機械增壓器泵
- **高真空泵**：油擴散泵（可選：冷凝泵），冷凝冷阱（Polycold）
- **蒸發源**：電子束源，RHS（電阻加熱源）
- **離子束源**：端霍爾型
- **沉積控制**：QCM（石英晶體微天平）
- **基片夾具**：可選：分段圓頂（4/6/7），翻轉夾具，行星夾具
- **控制系統**：HOPE（過程控制與監控 - 個人電腦系統）

vx電話17666387641