型號: | CL |
---|---|
品牌: | 晨立 |
原產地: | 中國 |
類別: | 工業設備 / 電子電氣產品製造設備 |
標籤︰ | 擴散爐 , 氧化爐 , 鈍化爐 |
單價: |
¥220000
/ 件
|
最少訂量: | 1 件 |
1. 外型形式:單管立式,加熱
2. 硅片尺寸:156*156方片/准方片
3. 工作溫度範圍:400-1200℃
4. 恆溫區長度:≥300mm,單次可裝載10片156*156方形硅片,背靠背裝片模式,配石英舟
5. 恆溫區精度:±0.5℃/300mm
6. 氣路系統:三路氣體系統,採用進口MKS質量流量計、氣動閥、等進口部件
7. 溫度控制系統:PLC+觸摸屏可編程控制方式,自動加手動可方便切換,溫控系統採用進口溫控儀,溫度、流按工藝自動調節
8. 擴散方式:設備配置真空系統,支持負壓擴散方式
9 尾氣處理:設備配備尾氣處理系統,採用溶液吸收發吸收尾氣中的有害成分
10.冷卻系統:設備配有冷水系統,用於保護密封裝置及冷卻加熱器外殼
11. 報警及保護:超溫、斷偶、缺水及真空異常系統自動報警及保護
青島晨立電子有限公司 | |
---|---|
國家/地區︰ | 山东省青岛市 |
經營性質︰ | 生產商 |
聯繫電話︰ | 13869885308 |
聯繫人︰ | 姜經理 (市場部) |
最後上線︰ | 2024/12/21 |