工業氧氣空氣氮氣體質量流量傳感器

產品描述

CAFS3000系列氣體質量流量傳感器是採用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片製作，適用於各種清潔、相對乾燥性微小流量氣體的測量和過程控制使用，特殊的封裝技術使得相同口徑下的產品可以滿足不同範圍的流量測量，同時確保高靈敏度，高可靠性，高穩定性和低成本。產品應用十分廣氾。

產品特點：

1、精度高（ 1.5％F.S精度）

2、線性輸出和無需溫度補償

3、以最小的零漂保持長期穩定性

4、固態傳感核心（無表面空洞戒易碎膜），抗堵塞和壓力衝擊

5、模擬輸出（ 1-5 V）（也可提供I2C數字輸出）

6、快速響應時間（ 1 ms響應時間）

7、流量範圍寬 0sccm-2000sccm

8、能夠適應于相對潮濕性氣體測量

產品應用：

一、制氧機

二、防毒面罩和呼吸器

三、噴霧器

四、持續氣道正壓通氣（CPAP）設備

五、麻醉分娩

六、檢漏

七、光譜儀

八、質量流量控制器

九、通訊系統

十、環境氣候控制

性能參數：

電器特性
測試條件：VIN=12±0.01VDC，Ta=25°C。相對濕度：40％<相對濕度<60％最大工作溫度範圍-25°C至+85°C
規格	CAFS3000
規格	最小值	正常值	最大值	單位	備註
流量範圍	0	—	2000	sccm	可定製
供電電壓	8	12	24	V
電流	20		15	mA
最大電壓輸出	4.94	5	5.02	V
零點電壓輸出	0.98	1	1.02
精度		1.5	2	%FS
耐壓		0.3		MPa	可定製
分辨率		0.1		%	全量程
響應時間		20	30	ms
零點漂移		0.2		%Year	全量程
溫度漂移			4	%	0℃-50℃
整體材質	碳化硅，環氧樹脂，聚苯硫醚，FR4，硅作為密封材料