太陽能電池擴散爐

產品描述

產品用途：

該擴散爐具有四套獨立的工藝爐管。供太陽能電池片生產線

上156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用。

主要特點：

1.關鍵件全部採用進口件，具有高可靠性。

2. 採用進口智能控制器，可輸出四個開關量，對爐溫、閥門動作

進行自動控制，並管理全部工藝時序，可編輯存貯十條工藝曲

線。具有高抗干擾能力。

3. 具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。

4. 具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

5. 控溫精度好，溫區控溫穩定性好。

6. 新型爐體設計結構，保証工藝過程中溫區溫度的快速穩定，更

適合於連續性大規模生產。

7.閉管式擴散系統更潔淨、更環保。

技術指標：

適用硅片尺寸：156mm×156mm

裝片量：400片/管

可配工藝管外徑：φ300mm

工作溫度範圍：600～1100℃

恆溫區長度：600～1100℃

精度精度： ±1℃

單點溫度穩定性：600～1100℃ ±1℃/24h

升溫時間：從室溫到900℃<60min

最大降溫速度（1100~900℃）：5℃/min