硅片腐蝕機
1 用於各尺寸硅晶片的腐蝕清洗；
2 清洗規格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
3  工藝說明:手動方式實現放件，取件，槽體間傳送件。

4  設備形式: 室內放置型。

5  腐蝕工藝自動補藥液保証了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性；

6  工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定；

7  機台前方為清洗工作區域，機台后上方為電器和氣路佈置區域，后下方為液路佈置區域。

8  藥液供給及補液方式: 分體式CDS自動供液系統

9 DI槽配有在線式水質檢測裝置；