²         用途：主要應用於大尺寸液晶面板之顯影工序；

²         可顯影玻璃基板尺寸（MAX）：1900 mm× 2200 mm，厚度為0.3—1.1 mm；

²         運作方式:全自動;

²         具有封閉的顯影工作腔。配備排風系統，避免所用藥液揮發對使用人員和環境造成危害；

²         顯影液、定影液採用浸潤式(puddle)與光刻膠反應。同時設備還需具備噴淋式(spray)顯影的能力。浸潤式與噴淋式兩種顯影模式可以相互切換使用，切換過程簡單可行。

²         顯影系統：設備配備兩路顯影液供給系統。可以用於不同光刻膠的顯影。並能保証這兩路顯影系統能夠交替使用；

²         定影系統：設備配備兩路定影供給系統。其中一路定影液供給系統提供Di-Water。另一路定影液供給系統用於提供專用定影液，配備有SUS316L的不鏽鋼壓力罐以及適用於有機溶劑的管路，用於儲存和配送定影液

²         對於顯影液，具有恆溫保護功能，溫度控制分辨率達到1 ℃，控溫精度達到±1 ℃。

²         具備噴液噴液時間0.1-999.9 s 可連續調解，調節精度為0.1 s；

²         設備具有防濺、廢液收集功能。如果採用容器收集廢液需配備液面監測器；

²         清洗維護：提供實用且簡單易行的顯影腔室清洗方案。