²         全自動單臂機械手提移，運行平穩、可靠、準確度高；

²         上、下拋動助洗，更有利於硅片快速均勻清洗；

²         逐級高精度過濾，保証洗液乾淨；

²         即時加熱器供應熱純水，結合純水慢拉，實現硅片快速脫水；

²         隧道淨化熱風乾燥，確保硅片乾燥。