1．設備概要

為達到均勻顯影的效果，本設備通過SlitSW進行顯影，然後通過Swing SW加強顯影效果，最後使用噴淋和風刀去除液體。鬚根據液體中的光刻膠含有率情況，定期更換液體。

2．設備規格

（1）處理對象：STN液晶用玻璃板

（2）處理目的：光刻膠顯影、乾燥

（3）對象尺寸等：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約7270×1400×1650mm

（7）乾燥重量：約4200Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準17秒/塊，標準傳送速度約2.1m/分鐘

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機：3相，380V，50Hz，約30kWA

（2）合計：約30kVA

（3）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（4）冷卻水用量：約0L/min

（5）空氣用量：約2100NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔淨乾燥氣