全自動硅片清洗機（非標設備）

產品描述

全自動硅片清洗機（非標設備）

(1) 本設備用於2″—8″硅片的規模生產清洗。
(2) 整機採用德國進口磁白色PP板焊接而成，本機每槽可同時清洗2個花籃。

(3) 本設備由機架部分、整機部分、槽體部分、伺服系統、及機械傳動部分、電氣控制系統構成。

⑷ 工藝過程全自動，機械手在槽間轉換靠PLC來控制，美國進口導軌和機械手來滿足工藝時序。

(5) 除裝片和取片需人工外，其餘工藝動作均由機械手來實現，適用於連續批量生產。

(6) 機台內設高效過濾器，滿足淨化工作區工作（1000級~100級，10級為特級）。

(7) 電控部分：人機界面為觸摸屏，有安全保護故障代碼，故障報警，工藝時序號，方便操作、易於維護。