RF射頻低溫等離子體表面處理又稱電暈處理或電漿處理。其離子和電子的能量可達7-10eV，可以處理聚丙烯——Polypropylene (PP)、聚乙烯——Polyethylene (PE)、聚氯乙烯——Polyvinyl chloride (PVC)、PO、聚苯乙烯——Polystyrene (PS)、高抗沖聚苯乙烯（HIPS)、ABS、聚酯（PET、APET）、聚氨酯（PUL）、聚甲醛、聚四氟乙烯——Polytetrafluoroethylene (PTFE/Teflon)、乙烯基、尼龍——Nylon-11 (polyundecanamide)、（硅）橡膠、玻璃、有機玻璃、ＡＢＳ、石蠟——Paraffin等各種高分子材料及玻璃陶瓷。即使像氟塑料、硅橡膠、石蠟等極難處理的材料通過RF射頻低溫等離子體處理后其表面張力也能達到65~70達因/釐米。 由於RF射頻低溫等離子體的離子和電子能量高，單電極，處理範圍大、單電極可設計成各種形狀，它特別適合對各種二維和三維高分子材料物體的表面進行改性處理。