高速光學掃描振鏡系統主要用於激光精密標刻、激光快速成型、激光調阻、激光切割、激光鑽孔、激光刻線等。可帶載16mm、20mm標準入射光斑的各種波長的鏡片。
高速光學掃描振鏡系統技術參數(所指角度為機械角,所有參數測定均為一分鐘上電后)
1、伺服驅動板參數說明
1.1 電源電壓:±24V±10%(正負電壓絕對值相等)
1.2 模擬信號輸入阻抗:100K±1%Ω(單端輸入)
1.3 位置信號輸出阻抗:1K±1%Ω
1.4 模擬位置信號輸入範圍:±10V/±5V(可選)
1.5 位置信號輸入比例係數:0.5V/°
1.6位置信號輸出比例係數:0.5V/°
1.7 工作溫度:25℃±10℃
1.8 驅動板尺寸:96.9mm(L)*71mm(W)*37mm(H)
2.馬達的電氣與機械特性:
2.1 小步長階躍響應時間:0.7ms
2.2 線性度:99.9%,範圍±20°
2.3 比例漂移:<40PPM/℃
2.4 零點漂移:<10μRad./℃
2.5 重複精度:<8μRad./℃
2.6 平均工作電流:1.8A
2.7 峰值電流:15A
2.8 最大掃描角度(機械角):±21°
2.9 工作溫度:25℃±10℃