產品介紹：

  主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），採用國外先進的加工工藝，選用進口材料，可處理2-8英吋硅片的擴散工作。
產品特性：
◆滿足2"-8"立式、臥式晶圓擴散爐"    
◆保溫材料：英國摩根進口保溫層
◆絕緣材料：高精度99瓷拉條絕緣子
◆使用溫度：350℃—1300℃
◆外  殼：不鏽鋼板/鋁板
◆端  口：優質氧化鋁氧化鋯
◆控溫段：3-5段控溫
◆ 口  徑：Φ80mm—Φ450mm
◆恆溫區：100-1300mm
按客戶的爐型要求，可內襯高純剛玉管或SiC管